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ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨(dú)立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號(hào)陣容。控制器單元可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品型號(hào)：UTM-MS廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2024-04-26訪(fǎng) 問(wèn) 量：416
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| 品牌 | ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 | 價(jià)格區(qū)間 | 2千-5千 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材/家具,綜合 |
| 供貨號(hào) | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)
泵體和控制器分開(kāi)?？刂破骺梢员O(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計(jì)更靈活。
排氣速度300L/s～4000L/s的型號(hào)陣容。
分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過(guò)改變轉(zhuǎn)速在腔室中實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。
高耐用性和安全性。通過(guò)了大氣沖擊試驗(yàn)、急停測(cè)試等各種安全性確認(rèn)試驗(yàn)。
各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 蒸鍍?cè)O(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 研究開(kāi)發(fā)設(shè)備
- 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)裝置等
主真空泵系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線(xiàn)的真空系統(tǒng)。
其他的高真空排氣系統(tǒng)。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進(jìn)氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出線(xiàn)口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 | 風(fēng)冷 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽速*2 | 氮?dú)?/span> | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氬氣 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | 氮?dú)?/span> | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| 氫2 | 1×10 4 | 4×10 3 | ||||||||
| 最大入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 | |||||||
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